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发明名称
摘要
申请公布号 DE2107286(A1) 申请公布日期 1971.09.02
申请号 DE19712107286 申请日期 1971.02.16
申请人 发明人
分类号 H05K3/00;G03F7/027;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
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