| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10178019(A) |
申请公布日期 |
1998.06.30 |
| 申请号 |
JP19970200064 |
申请日期 |
1997.07.25 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
OSAWA AKIHIKO;BABA YOSHIAKI;TSUCHIYA MASANOBU;HORI SHIZUE |
| 分类号 |
H01L29/74;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/322;H01L21/329;H01L29/32;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/322 |
主分类号 |
H01L29/74 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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