发明名称 TOUCH SIGNAL PROBE
摘要
申请公布号 JPH10176902(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960336986 申请日期 1996.12.17
申请人 MITSUTOYO CORP 发明人 NISHIMURA KUNITOSHI
分类号 G01B7/00;G01B21/00;H01L41/08;(IPC1-7):G01B7/00 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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