| 发明名称 |
PRODUCTION OF ETCHING PRODUCT AND PRODUCTION DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10176291(A) |
申请公布日期 |
1998.06.30 |
| 申请号 |
JP19960353524 |
申请日期 |
1996.12.16 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YASUZAWA HITOSHI |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/08;H01J9/14;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/08 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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