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经营范围
发明名称
FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH10178010(A)
申请公布日期
1998.06.30
申请号
JP19960354308
申请日期
1996.12.19
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
ITOU ATSUMI;HASEBE KAZUHIDE;TAGO KENJI;HAYASHI TERUYUKI
分类号
H01L21/304;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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