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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10178105(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960338076 申请日期 1996.12.18
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 FUNAKI MASANORI
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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