发明名称 TEMPERATURE DETECTOR FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10178080(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960354523 申请日期 1996.12.19
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 FUKUMURA NORIYUKI
分类号 H01L21/66;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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