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发明名称 VAPOR THIN FILM GROWTH DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH10177959(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960354380 申请日期 1996.12.19
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD;TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 OHASHI TADASHI;CHAGI KATSUHIRO;SHIN TAIRA;FUJII TATSUO;IWATA KATSUYUKI;MITANI SHINICHI;HONDA YASUAKI
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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