发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10178095(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19970197765 申请日期 1997.07.08
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 MUTO YOSHIO
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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