发明名称 SPRAY NOZZLE VALVE FOR MANUFACTURE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH10176763(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960337349 申请日期 1996.12.17
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;FUJIKIN:KK 发明人 HIRAGA TAKASHI;MORIYA TETSUO;YOSHIKAWA KAZUHIRO;MAKINO MEGUMI
分类号 F16K21/02;B05B1/32;F16K31/50;(IPC1-7):F16K21/02 主分类号 F16K21/02
代理机构 代理人
主权项
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