| 发明名称 |
METHOD OF VERIFYING WIRING OF INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10173059(A) |
申请公布日期 |
1998.06.26 |
| 申请号 |
JP19960332265 |
申请日期 |
1996.12.12 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
NAGAYA KOUHEI;UECHI MASAHITO |
| 分类号 |
G01R31/02;G06F17/50;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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