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发明名称
REACTION TUBE DETACHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10172914(A)
申请公布日期
1998.06.26
申请号
JP19960331719
申请日期
1996.12.12
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
TAKASHIMA YOSHIKAZU
分类号
B66F9/06;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
B66F9/06
代理机构
代理人
主权项
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