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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH10172497(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960337599 申请日期 1996.12.03
申请人 TOPCON CORP 发明人 KIMURA KOJI;KOIKE HIROTAMI
分类号 H01J37/20;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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