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发明名称 Refractory metal capped low resistivity metal conductor lines and vias
摘要
申请公布号 HK1001601(A1) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 HK19980100235 申请日期 1998.01.12
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. 发明人 JOSEPH COTE WILLIAM;PAUL LEE PEI-ING;EDWIN SANDWICK THOMAS;MICHAEL VOLLMER BERND;VICTOR VYNORIUS;HOWARD WOLFF STUART
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;H01L23/532;H01L29/41;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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