POLISHING APPARATUS,申请号JP19960332115-传众专利搜索

发明名称	POLISHING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH10172930(A)	申请公布日期	1998.06.26
申请号	JP19960332115	申请日期	1996.12.12
申请人	OKAMOTO KOSAKU KIKAI SEISAKUSHO:KK	发明人	SEKIDA SABURO
分类号	H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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