| 发明名称 |
PHYSICAL INFORMATION DETECTING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10172498(A) |
申请公布日期 |
1998.06.26 |
| 申请号 |
JP19980009282 |
申请日期 |
1998.01.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HOSAKA SUMIO;HOSOKI SHIGEYUKI;TAKADA KEIJI |
| 分类号 |
G01N37/00;G01Q10/02;G01Q60/10;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
G01N37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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