| 发明名称 |
METHOD OF BAKING COVER MATERIAL ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10172877(A) |
申请公布日期 |
1998.06.26 |
| 申请号 |
JP19970261798 |
申请日期 |
1997.09.26 |
| 申请人 |
SILICON VALLEY GROUP INC |
发明人 |
KANNAN CHAK D;WEBER ADAM JEROME |
| 分类号 |
H01L21/027;B05D3/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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