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发明名称 PROXIMITY EXPOSURE DEVICE OF SHEET-LIKE WORK
摘要
申请公布号 JPH10171125(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960331814 申请日期 1996.12.12
申请人 USHIO INC 发明人 OKADA MASAKAZU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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