发明名称 SCANNING PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH10172901(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960352242 申请日期 1996.12.11
申请人 CANON INC 发明人 MISHIMA KAZUHIKO
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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