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经营范围
发明名称
EB TESTER
摘要
申请公布号
JPH10173013(A)
申请公布日期
1998.06.26
申请号
JP19960333370
申请日期
1996.12.13
申请人
HITACHI LTD
发明人
HANABUSA YOSHIAKI
分类号
G01R31/26;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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