| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10173088(A) |
申请公布日期 |
1998.06.26 |
| 申请号 |
JP19960329272 |
申请日期 |
1996.12.10 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
TERASAKI TATSU;KOYAMA HISAKI;TOGAWA SANEHARU |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L23/12;(IPC1-7):H01L23/12 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
