| 发明名称 |
SUBSTRATE CLEANING METHOD AND EQUIPMENT THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10172941(A) |
申请公布日期 |
1998.06.26 |
| 申请号 |
JP19960335705 |
申请日期 |
1996.12.16 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HIRAE SADAO;SATO MASANOBU |
| 分类号 |
B08B3/10;B01F1/00;G11B5/84;G11B7/26;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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