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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10173075(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960325537 申请日期 1996.12.05
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KUROOKA KAZUMI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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