发明名称 METHOD FOR FORMING OXIDE FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10172967(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19970290331 申请日期 1997.10.07
申请人 SANKEN ELECTRIC CO LTD 发明人 IWABUCHI AKIO
分类号 H01L29/73;H01L21/316;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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