发明名称 |
SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH10172943(A) |
申请公布日期 |
1998.06.26 |
申请号 |
JP19960325332 |
申请日期 |
1996.12.05 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KOYAMA YOSHIHIRO |
分类号 |
B08B13/00;B08B3/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B13/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|