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经营范围
发明名称
LASER ANNEALING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH10172919(A)
申请公布日期
1998.06.26
申请号
JP19960330731
申请日期
1996.12.11
申请人
SONY CORP
发明人
INO MASUMITSU
分类号
H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
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