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发明名称 METHOD FOR IMPROVING LINE WIDTH MEASURING ACCURACY IN SCANNING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH10170232(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960326897 申请日期 1996.12.06
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD;ISHIKAWAJIMA SYST TECHNOL KK 发明人 UKIGUSA HIROSHI;SUGAYA TAICHI;MORITA MASARU
分类号 G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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