| 发明名称 |
PATTERN-MEASURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10170457(A) |
申请公布日期 |
1998.06.26 |
| 申请号 |
JP19960351844 |
申请日期 |
1996.12.12 |
| 申请人 |
TOYO KOHAN CO LTD |
发明人 |
OKAMOTO HIROSHI;IMASHIGE KAORU;YAMAZAKI ATSUSHI |
| 分类号 |
G01B15/00;G01N23/20;(IPC1-7):G01N23/20 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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