首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10172790(A)
申请公布日期
1998.06.26
申请号
JP19960340569
申请日期
1996.12.05
申请人
ANELVA CORP
发明人
IKEDA KEI
分类号
H05H1/46;C23C14/35;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
ANTI-ABRASIVE FLAME RESISTANT NOISE-SUPPRESSANT LAMINATE
BUILT-UP GRINDING TOOL
METHOD OF MEASURING CRITICAL FREQUENCY OF IONOSPHERE PLASMA LAYER
METHOD OF PREPARING 6'-N-SUBSTITUTED-3-N-FORMYLCANAMYCIN
DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING ASCORBIC ACID
INRICHTING VOOR DE BEREIDING EN KOELING VAN EEN WATER- STOF EN KOOLMONOXIDE BEVATTEND GAS MET EEN REACTOR EN EEN WARMTEWISSELAAR MET TEN MINSTE EEN SCHROEFVORMIG GEWONDEN PIJP.
METHOD OF TESTING SHEET MATERIAL SAMPLE FOR BIAXIAL TENSION
OPACIFIED GLASS
OPNEEMINRICHTING VOOR HET OPNEMEN VAN SIGNALEN VANAF EEN VIDEOREGISTRATIESCHIJF.
PIEZO-ELEKTRISCHE INRICHTING.
PHOTOELASTIC TRANSDUCER
INSTRUMENT FOR SELECTION OF SPECTACLES COLOR FILTERS
DEVICE FOR MEASURING ROTOR VIBRATIONAL DISPLACEMENT VECTOR PARAMETERS
DEVICE FOR CHECKING PERPENDICULARITY OF EDGE PLANE TO THE PART GEOMETRICAL AXIS
METHOD OF MANUFACTURING SCREEN MEASURE MASKS
PLANT FOR CORROSION TESTING OF MATERIALS UNDER ELEVATED TEMPERATURES
SUPERHIGH VACUUM SHUTTER
APPARATUS FOR CONVEYING ROTATION INTO VACUUM CAVITY
DISC-TYPE FRICTION VARIABLE-SPEED DRIVE
COUPLING
