发明名称 METHOD FOR ARRANGEMENT AND INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH10173058(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960331968 申请日期 1996.12.12
申请人 NEC CORP 发明人 MURAKOSHI MASAHIRO
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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