发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING OPTICAL MEMBER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10170400(A) |
申请公布日期 |
1998.06.26 |
申请号 |
JP19960327384 |
申请日期 |
1996.12.06 |
申请人 |
ASAHI OPTICAL CO LTD |
发明人 |
NAKAYAMA TOSHIHIRO;SUZUKI HIROYUKI |
分类号 |
G01M11/00;G01M11/02;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/958;(IPC1-7):G01M11/02 |
主分类号 |
G01M11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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