| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 포토장비의 웨이퍼 척에 관한 것으로, 종래에는 몸체의 상면에 웨이퍼가 놓여질때 베어링의 하단부에 걸치게 되면 포커스 불량이나 미스 얼라인이 발생하는 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 포토장비의 웨이퍼 척은 웨이퍼가 얹혀지는 몸체와, 그 몸체의 상면에 설치되며 내측으로 경사부가 형성된 베어링으로 구성되어, 웨이퍼가 몸체의 상면에 정확히 밀착고정되도록 함으로서, 미스 포지션에 의한 미스 얼라인이나, 포커스 불량이 방지되는 효과가 있다.</p> |
