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发明名称 Plasmabehandlung mit Metallmasken-Integration
摘要
申请公布号 DE69031748(T2) 申请公布日期 1998.06.25
申请号 DE19906031748T 申请日期 1990.03.20
申请人 SHIPLEY CO. INC., MARLBOROUGH, MASS., US 发明人 GULLA, MICHAEL, MILLIS, MA. 02054, US;SRICHAROENCHAIKIT, PRASIT, MILLIS, MA. 02054, US
分类号 G03F1/08;C23C18/20;C23C18/30;C23F1/00;C23F4/00;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;H05K3/18;(IPC1-7):G03F7/40 主分类号 G03F1/08
代理机构 代理人
主权项
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