| 摘要 |
<p>본 고안은 웨이퍼 노광 장비의 웨이퍼 레벨링 장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 웨이퍼에 패턴 형성을 하기 전 공정인 웨이퍼의 레베링 작업에서 상기 웨이퍼 칩의 X, Y, Z 축 위치값을 구하기 위한 상기 칩내의 5개의 채널 위치가 각 칩 사이즈 별로 다르더라도 상기 5개의 채널 위치 칩 둘레 외부로 벗어나지 않도록하여 항상 정확하게 칩의 X, Y, Z 축을 찾도록 한 것이다. 이를 위해, 프로젝션 렌즈(7)의 일측에 빛을 발광하도록 발광부재(3)가 설치되고 타측에는 빛을 수광하도록 수광부재(4)가 설치된 것에 있어서, 상기 발광부재(3)에 빛의 발광각도를 조절하도록 발광부재용 줌 렌즈(9)를 설치하고, 수광부재(4)에는 빛의 수광각도를 조절할도록 수광부재용 줌 렌즈(11)를 설치하여서 된 것이다.</p> |
