| 摘要 |
<p>음극선관용 노광장치에 구비되어 형광막이 형성될 패널 내면으로 광이 균일한 광량을 가지고 조사될 수 있도록 하는 보정필터로서, 이 보정필터에 형성되는 패턴 배열과 노광작업시 사용되는 새도우 마스크의 전자빔 투과공의 배열 관계로 일어나는 간섭을 저하시켜 형광막에 일어날 수 있는 모아레 현상을 미연에 방지하고자, 음극선관용 노광장치에 구비되어 노광렌즈를 통과한 빛이 균일한 광량으로 패널 내면으로 조사토록 하는 보정필터에 있어서, 상기 보정필터는 그 표면에 투과율 설정을 위한 패턴을 소정의 간격을 두고 다수로 형성하되, 상기 패턴이 각기 불규칙한 배열을 가지며 형성되어 있는 음극선관용 노광장치의 보정필터를 제공한다.</p> |
