반도체 제조장비의 펌프

摘要

본 고안의 반도체 제조장비의 펌프는 펌프 내에 설치되어, 측면에 사이트글라스가 있는 오일탱크와, 오일탱크와 연결관으로 연결되어, 오일탱크 내로 오일을 공급하기 위한 보조탱크와, 연결관에 설치된 전자밸브(Solenoid Valve)와, 사이트글라스에 설치되어, 오일탱크의 오일량을 체크하는 레벨센서와, 레벨센서의 신호를 받아 전자밸브의 개폐를 제어하는 제어회로를 포함하여 이루어진다.