| 摘要 |
본 고안은 반도체 디바이스의 검사 장치에서의 피크 앤드 플레이스(pick place) 장치에 관한 것으로 특히, 진공 흡착이 가능한 흡착부를 수직으로 운동시키기 위한 구동원을 방생시키는 스테핑모터와, 상기 스테핑모터의 회전축에 연결되어 있는 기어와, 상기 기어의 회전력을 전달하기 위한 타이밍 벨트, 및 타이밍 벨트를 통해 전달받은 회전력을 수직 운동으로 전환하여 흡착부를 수직으로 운동시키는 운동방향 전환기어로 수직 동작부가 구비되는 것을 특징으로 하는 피크 앤드 플레이스 장치를 제공하면, 보통 종래의 장비에서는 시간당 3.5K 정도 생산하던 것이 5K 이상의 생산을 할 수 있게 되어 약 50% 정도의 생산성 향상의 효과를 얻을 수 있게 되었다. |
