웨이퍼 이송장치의 블레이드

摘要

본 고안은 웨이퍼 이송장치의 블레이드에 관한 것으로, 종래에는 웨이퍼 이송시 블레이드의 안착부에 흡착된 웨이퍼가 회전하여 위치 틀어짐이 발생하는 문제점이 있었다. 본 고안 웨이퍼 이송장치의 블레이드는 블레이드의 상면에 형성된 안착부의 일측면에 회전방지부를 형성하여, 플랫존이 있는 웨이퍼의 이송시 상기 회전방지부에 의해 웨이퍼의 미세회전이 방지되도록 함으로서, 웨이퍼의 위치 틀어짐이 방지되고 정확한 이송이 가능한 효과가 있다.