发明名称 A reticle for an object measurement system
摘要
申请公布号 GB9808719(D0) 申请公布日期 1998.06.24
申请号 GB19980008719 申请日期 1998.04.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 G01B3/00;G01B11/02;H03M1/24 主分类号 G01B3/00
代理机构 代理人
主权项
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