| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft photonische Bauelemente mit einem als Träger dienenden Substrat (SUB), darauf angeordneten optischen Wellenleitern (OWL) und elektrischen Leiterbahnen (ELB). Bekannt ist, die elektrischen Leiterbahnen auf einer dünnen, das Substrat bedeckenden Isolierschicht aufzubringen. Erfindungsgemäß werden die elektrischen Leiterbahnen (ELB) auf der Oberfläche (WOF) des optischen Wellenleiter (OWL) geführt. Dies führt zu einer besseren Isolierung der Leiterbahnen (ELB); außerdem wird die Substratfläche besser genutzt. Vorzugsweise führen elektrische Leiterbahnen (ELB), die in rampenartigen Einschnitten (RA) verlegt sind, von der Substratoberfläche (SOF) zur Oberfläche (WOF) der optischen Wellenleiter (OWL) hinauf. Besonders vorteilhaft kann die Erfindung angewendet werden in der Nähe von Laserriegeln, wo mehrere, zu koplanaren elektrischen Wellenleitern zusammengefaßte Leiterbahnen auf engem Raum angeordnet sind. <IMAGE></p> |
