发明名称 DEVICE FOR FORMING AMORPHOUS SILICON PHOTORECEPTOR AND ITS FORMATION
摘要
申请公布号 JPH10168575(A) 申请公布日期 1998.06.23
申请号 JP19960352018 申请日期 1996.12.11
申请人 CANON INC 发明人 AKIYAMA KAZUYOSHI
分类号 G03G5/08;C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 G03G5/08
代理机构 代理人
主权项
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