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发明名称 DEVICE FOR COOLING O RING
摘要
申请公布号 JPH10168571(A) 申请公布日期 1998.06.23
申请号 JP19960328564 申请日期 1996.12.09
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAMURA NAOTO
分类号 C23C16/44;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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