| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10167883(A) |
申请公布日期 |
1998.06.23 |
| 申请号 |
JP19960322506 |
申请日期 |
1996.12.03 |
| 申请人 |
NGK INSULATORS LTD |
发明人 |
NAKAMURA YUKINORI;SHIBATA TOMOHIKO |
| 分类号 |
C30B25/10;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/10 |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
