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发明名称 Positioning device having two manipulators operating in parallel, and optical lithographic device provided with such a positioning device
摘要
申请公布号 EP0525872(B1) 申请公布日期 1998.06.17
申请号 EP19920202207 申请日期 1992.07.20
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;ASM LITHOGRAPHY B.V. 发明人 MEIJER, HENDRICUS J.M.;ROZENVELD, JOHANNES ALBERT;VERMEER, ADRIANUS J.P.M.;MARKVOORT, JAN ALBERT;VAN DER MAADEN, JOHAN;VAN EIJK, JAN
分类号 B25J9/02;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):G03F7/20;H01L21/00;B65G47/90 主分类号 B25J9/02
代理机构 代理人
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