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Das Ionenmobilitätsspektrometer weist ein Ionentor auf, das aus einem scheibenförmigen, anisotrop ätzbaren ersten Teilstück hergestellt ist, sowie eine Driftkammer, die aus mindestens zwei scheibenförmigen zweiten Teilstücken hergestellt ist, welche die Seitenwände bilden und von denen mindestens eines eine Gasdurchlaßöffnung aufweist, und einen Ionenkollektor, der aus einem scheibenförmigen dritten Teilstück hergestellt ist, wobei das Ionentor und der Ionenkollektor an gegenüberliegenden Stirnflächen der Driftkammer angeordnet sind. <IMAGE>
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