侧面有门的300毫米微环境舱

摘要

本发明公布了一种用于形成微环境的容器。该容器包括壳体10、门90和多个具有独特设计的支承60,该支承用于按互相平行,相互隔开一定距离的方式牢固地夹持物品(例如硅晶片80)。支承可以取下。没有电气通路使支承接地。还设置有运动连接结构44—46,以便将容器放置表面上,使,例如,门能与晶片处理工具的口适当地对准。

主权项

1.一种用于能保护存储在其中的物品不受损坏的微环境的容器，所述容器包括：(a)壳体，壳体上有开口，用于将物品插入和从所述壳体中取出，所述壳体由本来带有少量负电荷的材料制成；(b)二个支承，它们互相配合，以相互平行和彼此隔开一定距离的位置支承着存储在容器中的多个物品；(c)一个门，用于密封所述壳体的所述开口，防止存储在所述壳体中的物品受到污染；和(d)一个用于形成电气通路的装置，上述支承通过该装置接地，因此，可将壳体内部的粒子从所述物品和支承上吸走，吸向所述容器的壳体。