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发明名称 WASHING METHOD FOR TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10156172(A) 申请公布日期 1998.06.16
申请号 JP19970300428 申请日期 1997.10.31
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KOMINO MITSUAKI
分类号 B08B3/08;B01J19/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B01J19/00;H01L21/306 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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