发明名称 METODO Y APARATO PARA LA REFRIGERACION DE UN DISPOSITIVO DE VACIO.
摘要 UNA ESTRUCTURA REFRIGERANTE (1) PARA UN DISPOSITIVO DE VACIO INCLUYE UNA PORCION (11) DE BASTIDOR EXTERNA, POSICIONADA ENTRE LA PESTAÑA O BRIDA (21) DE LA CAMARA DE VACIO Y LA PESTAÑA O BRIDA (31) DE LA BOMBA GRIOGENICA; UN PANEL DE ENFRIAMIENTO (1), FORMADO EN UNA DIVISION CIRCUNDADA POR EL CITADO BASTIDOR (11) EXTERNO, TENIENDO EL PANEL DE ENFRIAMIENTO AL MENOS UNA ABERTURA (13, 15) QUE PERMITE EL FLUJO DE FLUIDO ENTRE LA CITADA CAMARA DE VACIO (2) Y LA CITADA BOMBA CRIOGENICA (3); UN MEDIO DE ENFRIAMIENTO (61), POSICIONADO EN CONTACTO CON UNA SUPERFICIE (19) DEL PANEL DE ENFRIAMIENTO PERIFERICO EXPUESTO, PARA ENFRIAR EL CITADO PANEL DE ENFRIAMIENTO (1); Y UN MEDIO DE ALIMENTACION DE FLUIDO REFRIGERANTE (62) PARA SUMINISTRAR FLUIDO REFRIGERANTE AL MEDIO DE ENFRIAMIENTO.
申请公布号 ES2115113(T3) 申请公布日期 1998.06.16
申请号 ES19940111890T 申请日期 1994.07.29
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SHINBO, TAKESHI;TAKAHAMA, HIROZUKI
分类号 F04B37/08;F04B39/06;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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