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发明名称 ULTRAVIOLET IRRADIATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10156177(A) 申请公布日期 1998.06.16
申请号 JP19960316312 申请日期 1996.11.27
申请人 TOSHIBA CORP;SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 HAYAMIZU NAOYA;SAKURAI NAOAKI;HARA AKIRA;MIYASAKO HISAAKI;HIROSE HARUMICHI;ISO AKINORI
分类号 B01J19/12;H01L21/304;(IPC1-7):B01J19/12 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
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