发明名称 APARATO Y METODO DE TRATAMIENTO POR FLUIDO.
摘要 SE PRESENTA UN NUEVO APARATO PARA TRATAR SUSTRATOS CON FLUIDOS, ASI COMO UN METODO DE TRATAMIENTO CORRESPONDIENTE.EL NUEVO APARATO COMPRENDE UNA NUEVA CONFIGURACION DE INYECTORES DE CHORROS DE FLUIDO QUE RESUELVEN SUSTANCIALMENTE EL PROBLEMA DE DRAGA, EN EL QUE EL FLUIDO CHOCADO CONTRA UN AREA DE UN SUSTRATO ES RETENIDO EN ESTE AREA, EVITANDO QUE EL FLUIDO RECIENTE ALCANCE EL AREA CHOCADA. ESTA NUEVA CONFIGURACION TAMBIEN EVITA LA IMPOSICION DE PARES SOBRE SUSTRATOS Y REDUCE SUSTANCIALMENTE LA NECESIDAD DE RODILLOS Y GUIAS PARA TRANSPORTAR SUSTRATOS.
申请公布号 ES2114973(T3) 申请公布日期 1998.06.16
申请号 ES19930109877T 申请日期 1993.06.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BARD, STEVEN LINDZ;JONES, JEFFREY DONALD;KATYL, ROBERT HENRY;MOORE, RONALD JAMES;MORENO, OSCAR AUREO
分类号 B05C5/02;B05D1/36;B08B3/02;C23F1/08;F26B21/00;H01L21/304;H05K3/00;H05K3/22;H05K3/26;(IPC1-7):H05K3/00 主分类号 B05C5/02
代理机构 代理人
主权项
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